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山東力冠微電子裝備

產品展示


HVPE外延爐——立式

本設備主要用于氧化鎵(Ga2O3)、氮化鋁(AIN)等外延生長。

坩堝下降爐

本設備主要用于砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)等化合物晶體生長。設備由機架、安瓿支撐機構、加熱器和控制系統組成,能夠實現安瓿移動和轉動的精確控制。

導模法長晶爐

本設備主要用于氧化鎵(Ga2O3)單晶生長,將原料放在留有狹縫的模具中,熔液借虹吸作 用上升到模具頂部,受籽晶誘導結晶生長成單晶。

HVPE長晶爐——臥式

本設備主要用于氮化鎵(GaN)單晶生長;

HVPE長晶爐——立式

本設備主要用于氮化鎵(GaN)單晶生長;

SiC籽晶粘接設備

本設備是將SiC籽晶通過有機膠粘接在石墨上。提高籽晶粘接質量是保證高 品質SiC晶體生長的首要前提。

PVT法長晶爐——電阻爐

本設備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長。

PVT法長晶爐——感應爐

本設備主要用于碳化硅(SiC)、氮化鋁(AIN)單晶生長。

液相法長晶爐

液相法可以在更低的溫度(<2000℃)以下實現SiC單晶的生長,理論上更容易獲得高質量的單晶。利用溫度梯度作為生長驅動力來實現晶體的生長。

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